来源 :智通财经2024-06-24
华海清科(688120.SH)发布公告，近日，公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖，公司董事长、首席科学家路新春先生作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。