来源 :金融界2024-01-19
金融界2024年1月19日消息，据国家知识产权局公告，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种抛光模组、抛光单元、抛光系统和抛光方法“，公开号CN117415724A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种抛光模组、抛光单元、抛光系统和抛光方法，所述抛光模组包括抛光盘，所述抛光盘侧方配置至少两个装卸机构，抛光盘上方配置有抛光机构；所述抛光机构配置至少两个承载头，其能够在抛光盘与装卸机构之间移动，以传输晶圆；还包括供液臂，其数量与承载头数量相匹配；抛光时，所述供液臂绕定点往复摆动，以朝向抛光区域供给抛光液。