来源 :格隆汇2023-06-02
格隆汇6月2日丨盛美上海(688082.SH)于2023年5月参与分析师会议或公开的电话会议，问答环节中，就“请问公司去年和今年清洗设备里面的TEBO和Tahoe销售情况如何？并且现在存在一些卡脖子的环节，TEBO的应用瓶颈相比从前是否更多？”，公司回复称，TEBO的清洗技术优势主要在于兆声波无破坏清洗，这个技术不光可以用在逻辑制程也可以用在存储制程，此外TEBO还有一个特点，必须和干燥技术相连接，现在主要的两种干燥技术，高温的IPA和超临界CO2，这两个技术公司现在都有，它们和TEBO搭配在一起将形成独特搭档，三者同时拥有的只有盛美一家，希望在未来公司能给国内客户提供一个较为先进的方案，同时希望这个方案在国内验证后能打入国际市场。
Tahoe预计今年将会有大的订单量增加，它主要的优点在于和单片相比可以将硫酸的使用量大幅度减少，这是市场客户非常感兴趣的地方，并且这个概念还可以用在别的应用上，算是中国设备公司在全世界的首次发明，希望其不仅在国内市场进行扩展也能在国际市场进行扩展，为全球的半导体生产工艺贡献力量。