来源 :新浪财经2023-01-10
盛美上海披露调研纪要显示，公司的PECVD可以覆盖存储及逻辑客户，今年会推出多种膜的PECVD，在客户端进行验证。部分PECVD的核心零部件来自海外的供应链。PECVD的毛利现阶段还是在40%-45%之间，未来可能提升到45%-50%区间。此外，公司还在研发两款最新的技术，IPA和超临界CO2干燥技术。超临界CO2干燥技术的研发已到快出成果的阶段。