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盛美上海:拓展PECVD+涂胶显影市场 SAM翻倍至160亿美元

http://www.chaguwang.cn  2022-12-14  盛美上海内幕信息

来源 :和讯网2022-12-14

  事件:12 月13 日,公司宣布进军PECVD 市场,支持逻辑和存储芯片制造。

  拓展PECVD+涂胶显影设备,公司SAM 翻倍至160 亿美元。公司宣布推出拥有自主知识产权的Ultra PmaxTM PECVD 设备,且计划在几周内向中国一家集成电路客户交付首台PECVD。11 月18日,公司新布局的另一款新设备——涂胶显影Track 也正式推出,并将向客户交付首台ArF 工艺的涂胶显影设备。至此,公司业务版图从“清洗+电镀+炉管”再次延伸拓展到“PECVD+涂胶显影”市场,支撑公司SAM 翻倍至160 亿美元。

  PECVD:两种配置支持极薄膜层和厚膜沉积。公司新推出的UltraPmaxTM PECVD 设备配置了自主知识产权的腔体、气体分配装置和卡盘设计。该设备采用单腔体模块化设计,具有两种配置:

  一种可配置1-3 腔体模块,适合极薄膜层和快速工艺步骤;另一种可以配置4-5 腔体模块,在优化产能的同时,支持厚膜沉积以及更长的工艺时间。

  涂胶显影:全新架构设计,计划2023 年再推I-line 机型。公司涂胶显影Track 设备专为12 吋晶圆设计,共有4 个装载口,8 个涂胶腔体,8 个显影腔体;且此款申请全球专利保护的全新架构设计还可拓展至12 个涂胶腔体及12 个显影腔体,每小时晶圆产能可达300 片,未来配置更多涂胶/显影腔体的条件可达400/h 以上产能。此次交付ArF 机台后,公司还将于2023 年推出I-line 型号设备,且也已开始着手研发KrF 型号设备。

  营收持续增长,电镀/炉管设备进入放量期。受益于下游需求旺盛和订单持续增长,2022 年前三季度公司实现营收19.8 亿元,同比+81.86%;归母净利润4.4 亿元,同比+196.4%。结构上,根据母公司ACMR 数据,2022 年前三季度公司清洗/电镀炉管/先进封装设备营收占比分别为71%/20%/9%,2021 年全年营收占比分别为73%/13%/14%,电镀炉管设备占比大幅提升。22Q3 单季度看,清洗设备营收9970 万美元,同比+102%;先进封装营收950 万美元,同比+1%;电镀炉管设备营收2450 万美元,同比+199%,电镀炉管设备进入高速放量期。

  盈利预测:我们预计公司2022-2024 年营业收入27.9/38.8/50.7亿元,归母净利润6.0/7.5/9.5 亿元,维持“推荐”评级。

  风险提示:(1)下游晶圆厂扩产不及预期;(2)中美贸易摩擦风险;(3)产品研发及市场推广不及预期。

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