盛美上海推出Ultra PmaxTM等离子体增强化学气相沉积设备

　　盛美上海今日宣布，推出拥有自主知识产权的Ultra PmaxTM等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备。预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD设备。