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盛美上海(688082)内幕信息消息披露
 
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盛美上海推出Ultra PmaxTM等离子体增强化学气相沉积设备

http://www.chaguwang.cn  2022-12-12  盛美上海内幕信息

来源 :科创板日报2022-12-12

  盛美上海今日宣布,推出拥有自主知识产权的Ultra PmaxTM等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备。预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD设备。

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