来源 :上证e互动2022-12-01
盛美上海(688082)董秘您好，请问公司的150-200毫米兼容系统将前道集成电路湿法系列产品、后道先进晶圆级封装湿法系列产品是否能应用于氧化镓、金刚石衬底及外延材料工艺？
尊敬的投资者您好。可以应用于氮化镓、碳化硅衬底及外延后的湿法工艺。感谢您对公司的关注，谢谢！