来源 :新浪财经2026-04-28
4月28日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆托盘以及晶圆托盘的温度控制方法”的专利，授权公告号CN115799123B，授权公告日为2026年4月24日。申请公布号为CN115799123A，申请号为CN202211634990.5，申请公布日期为2026年4月24日，申请日期为2022年12月19日，发明人谈太德、赵聪、姜崴，专利代理机构上海专利商标事务所有限公司，专利代理师徐迪，分类号H10P72/00、H05B1/02、G05D23/20。
专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆托盘、一种晶圆托盘的温度控制方法以及一种计算机可读存储介质。上述晶圆托盘包括：托盘本体，至少包括位于中心区域的第一分区，以及位于边缘区域的第二分区；多个第一半导体制冷器，垂直托盘本体径向地设置于托盘本体中，并沿第一分区和/或第二分区的边界分布；以及控制器，被配置为：获取第一分区的第一温度及第二分区的第二温度；以及根据第一温度及第二温度的大小，向各第一半导体制冷器提供对应方向和/或对应幅值的驱动电压，以控制各第一半导体制冷器在第一分区及第二分区之间进行对应方向的定向热量转移。
拓荆科技成立于2010年4月28日，于2022年4月20日在上海证券交易所上市。注册地址与办公地址均位于辽宁省沈阳市。该公司是国内半导体薄膜沉积设备龙头，核心产品涵盖物理气相沉积、化学气相沉积等设备，拥有深厚技术壁垒。
拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，涉及半导体设备、半导体设备概念、高带宽存储器HBM等概念板块。
2025年，拓荆科技营业收入达65.19亿元，在17家同行业公司中排名第4，高于行业平均数50.3亿元和中位数14.26亿元，但与第一名北方华创的393.53亿元、第二名中微公司的123.85亿元仍有差距。净利润方面，2025年为9.15亿元，行业排名第6，高于行业平均数7.91亿元和中位数1.77亿元，不过与第一名北方华创的54.09亿元、第二名中微公司的20.64亿元相比也存在差距。
拓荆科技股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
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| 1 | 一种高温PECVD系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511724511.2 | 2025-11-21 | CN121575382A | 2026-02-27 | 孙少东、方成、李欣、赵东萱、汤雨竹、宁建平、孟亮、胡祥明、汤剑 |
| 2 | 喷淋结构和半导体器件的工艺设备及其工艺方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511688630.7 | 2025-11-17 | CN121531958A | 2026-02-13 | 请求不公布姓名、许铁柱 |
| 3 | 一种气体传输组件和半导体器件的加工设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511642968.9 | 2025-11-10 | CN121204640A | 2025-12-26 | 请求不公布姓名、许铁柱 |
| 4 | 一种半导体工艺设备和工艺腔的清洁方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511643136.9 | 2025-11-10 | CN121460468A | 2026-02-03 | 请求不公布姓名、许铁柱 |
| 5 | 半导体设备中基于累计膜厚的清洁方法和装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511579348.5 | 2025-10-30 | CN121407053A | 2026-01-27 | 聂坤、请求不公布姓名、李玉、张树全、谢佳辉、李陶陶 |
| 6 | 一种喷淋板组件和半导体的工艺设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511263265.5 | 2025-09-04 | CN121137559A | 2025-12-16 | 孙少东、宁建平、汤雨竹 |
| 7 | 一种抽气环及薄膜沉积设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511250533.X | 2025-09-02 | CN120796943A | 2025-10-17 | 汤雨竹、贾闯 |
| 8 | 一种抽气环及薄膜沉积设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511250530.6 | 2025-09-02 | CN120796942A | 2025-10-17 | 汤雨竹、贾闯 |
| 9 | 一种喷淋板及薄膜沉积设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511250517.0 | 2025-09-02 | CN121087462A | 2025-12-09 | 孙少东 |
| 10 | 进气结构、半导体工艺的供气系统和处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511028247.9 | 2025-07-24 | CN120683478A | 2025-09-23 | 孙少东、孟亮、卜立夫、孙飞 |
| 11 | 半导体反应腔体压力控制方法及计算机可读存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510783799.4 | 2025-06-11 | CN120595879A | 2025-09-05 | 董礼、孟亮、张闯闯、李中帅、梁彬彬、李权 |
| 12 | 射频带的测试装置、方法及薄膜沉积方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510399216.8 | 2025-03-31 | CN120249885A | 2025-07-04 | 董礼、孟亮、吴凤丽、张闯闯、李中帅、梁彬彬、李权 |
| 13 | 一种卡钳结构、腔体及薄膜沉积设备 | 实用新型 | 授权 | CN202423201410.0 | 2024-12-24 | CN223548088U | 2025-11-14 | 蔡东坡、宋宇、高级 |
| 14 | 一种臭氧发生器 | 实用新型 | 授权 | CN202423200903.2 | 2024-12-24 | CN223950738U | 2026-02-27 | 蔡东坡、宋宇 |
| 15 | 一种用于加热盘的清洁系统及其清洁方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411813184.3 | 2024-12-10 | CN119567062A | 2025-03-07 | 高级、宋宇、王志超 |
| 16 | 一种薄膜沉积设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411813436.2 | 2024-12-10 | CN119640207A | 2025-03-18 | 王志超、高级、宋宇 |
| 17 | 重锤顶针的装卸工装，安装方法及其拆卸方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411789735.7 | 2024-12-05 | CN119589604A | 2025-03-11 | 王松、刘家辉 |
| 18 | 一种循环冷却净化装置及双腔三晶舟的晶圆加工设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422822803.7 | 2024-11-19 | CN223390508U | 2025-09-26 | 姜全昌 |
| 19 | 一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422822517.0 | 2024-11-19 | CN223390523U | 2025-09-26 | 姜全昌 |
| 20 | 一种工艺腔室顶盖机构及其薄膜沉积设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411621767.6 | 2024-11-13 | CN119392217A | 2025-02-07 | 王松、费腾 |
| 21 | 一种承载盘及应用其的半导体设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422771484.1 | 2024-11-13 | CN223390535U | 2025-09-26 | 孙少东、吕志鹏、孟亮 |
| 22 | 喷淋板及薄膜沉积设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411597775.1 | 2024-11-08 | CN119433509A | 2025-02-14 | 安光辉、栾婉莹、王卓、费腾 |
| 23 | 晶圆旋转机构、半导体器件的工艺设备及其工艺方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411573410.5 | 2024-11-05 | CN119433515A | 2025-02-14 | 张闯闯、吴凤丽、董礼、王前程、梁彬彬、高鑫洲 |
| 24 | 晶圆旋转机构和半导体器件的工艺设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422698141.7 | 2024-11-05 | CN223548092U | 2025-11-14 | 张闯闯、吴凤丽、董礼、王前程、梁彬彬、高鑫洲 |
| 25 | 一种背面沉积的工艺腔室及半导体器件的背面沉积设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411528163.7 | 2024-10-30 | CN119177428A | 2024-12-24 | 殷奇、谭宇琦 |
| 26 | 一种背面沉积的工艺腔室及半导体器件的背面沉积设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422630995.1 | 2024-10-30 | CN223468446U | 2025-10-24 | 殷奇、谭宇琦 |
| 27 | 一种双进气通道气体混合装置及半导体薄膜设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411450313.7 | 2024-10-16 | CN119258822A | 2025-01-07 | 胡祥明、孙少东 |
| 28 | 一种双进气通道气体混合装置及半导体薄膜设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422510382.4 | 2024-10-16 | CN223221294U | 2025-08-15 | 胡祥明、孙少东 |
| 29 | 温度控制方法、半导体加工设备及计算机可读存储介质 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202411441667.5 | 2024-10-15 | CN119322545A | 2025-01-17 | 董礼、吴凤丽、张闯闯、李中帅、李权、梁彬彬、高鑫洲、王前程 |
| 30 | 腔室压力的控制系统、负载锁存腔及加工设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411441662.2 | 2024-10-15 | CN119324168A | 2025-01-17 | 马硕、李慧、姜宗帅、李宇 |
| 31 | 穿腔气路结构及薄膜沉积设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422484816.8 | 2024-10-14 | CN223357748U | 2025-09-19 | 王松 |
| 32 | 一种加热盘机构及其薄膜沉积设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411428059.0 | 2024-10-12 | CN119110447A | 2024-12-10 | 梁彬彬、吴凤丽、张闯闯、高鑫洲、董礼、张佳琦、王前程 |
| 33 | 一种加热盘机构及其薄膜沉积设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422474937.4 | 2024-10-12 | CN223219236U | 2025-08-12 | 梁彬彬、吴凤丽、张闯闯、高鑫洲、董礼、张佳琦、王前程 |
| 34 | 气体输送装置、半导体器件的工艺方法和工艺设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411418900.8 | 2024-10-11 | CN119082708A | 2024-12-06 | 高级、宋宇、阮大鹏 |
| 35 | 气体输送装置和半导体器件的工艺设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422460231.2 | 2024-10-11 | CN223357747U | 2025-09-19 | 高级、宋宇、阮大鹏 |
| 36 | 抽气结构和半导体器件的加工设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411277232.1 | 2024-09-11 | CN118880289A | 2024-11-01 | 汤雨竹、魏有雯、魏薇 |
| 37 | 抽气结构和半导体器件的加工设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422236873.4 | 2024-09-11 | CN223226167U | 2025-08-15 | 汤雨竹、魏有雯、魏薇 |
| 38 | 工艺腔室，以及半导体器件的加工设备及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411226800.5 | 2024-09-02 | CN121665948A | 2026-03-13 | 蒋征、叶五毛、许铁柱、李丹 |
| 39 | 工艺腔室、半导体器件的加工设备及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411226810.9 | 2024-09-02 | CN121665949A | 2026-03-13 | 叶五毛、许铁柱、李丹、蒋征 |
| 40 | 固化工艺设备及固化工艺的处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411198577.8 | 2024-08-29 | CN119158768A | 2024-12-20 | 汤雨竹 |
| 41 | 一种固化工艺设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422113961.5 | 2024-08-29 | CN223337743U | 2025-09-16 | 汤雨竹 |
| 42 | 一种双腔三晶舟的晶圆加工设备及晶圆加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311665879.7 | 2023-12-06 | CN118053790A | 2024-05-17 | 姜全昌 |
| 43 | 一种电加热的喷淋板与半导体工艺设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311588368.X | 2023-11-24 | CN117604504A | 2024-02-27 | 申思 |
| 44 | 一种设备对接装置、方法和半导体加工设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311561686.7 | 2023-11-21 | CN117524954A | 2024-02-06 | 李旭峰、崔雨、黄明策、张驰 |
| 45 | 一种用于加热盘的射频连接器以及射频连接组件 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202311561155.8 | 2023-11-21 | CN117477298B | 2024-07-16 | 张赛谦 |
| 46 | 气体传输系统及半导体镀膜设备 | 实用新型 | 授权 | CN202323145114.9 | 2023-11-21 | CN221588684U | 2024-08-23 | 李旭峰、陈新益、崔雨、黄明策、张驰 |
| 47 | 一种半导体工艺腔体 | 实用新型 | 授权 | CN202323145535.1 | 2023-11-21 | CN221708662U | 2024-09-13 | 张亚梅、宋鹏、张晗 |
| 48 | 一种电加热的喷淋板与半导体工艺设备 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202311498545.5 | 2023-11-10 | CN117512566A | 2024-02-06 | 申思 |
| 49 | 一种密封圈测试平台 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311466571.X | 2023-11-06 | CN117606787A | 2024-02-27 | 李旭峰、崔雨、张驰、黄明策 |
| 50 | 对中机构、晶圆升降系统及其安装方法、薄膜沉积装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311469403.6 | 2023-11-03 | CN117497472A | 2024-02-02 | 张驰、李旭峰、黄明策、崔雨、陈新益 |