拓荆科技（上海）半导体先进工艺装备研发与产业化项目封顶

　　据上海地产闵虹集团消息，4月25日，拓荆科技（上海）半导体先进工艺装备研发与产业化项目主体钢结构全面完工，封顶。

　　消息显示，半导体先进工艺装备研发与产业化项目是由拓荆科技（上海）有限公司新建的研发及产业化基地，计划总投资9.3亿元。建筑面积约10万㎡，用于开发先进的ALD薄膜工艺技术及高产能设备平台，并实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化。该项目建成后将更好满足临港客户产品定制化等需求，增强公司产品形成以临港为中心，形成覆盖上海及周边半导体客户厂商的产业形态。将以市场需求为导向，开展自主研发，突破核心技术，形成100%自主知识产权产品并实施产业化。

　　资料显示，拓荆科技（上海）有限公司成立于2020年12月，是拓荆科技股份有限公司在临港设立的全资子公司。主要从事高端集成电路薄膜装备的研发、生产与销售。公司聚焦半导体薄膜沉积设备，是国内专用量产型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD设备企业。