来源 :金融界2024-02-07
金融界2024年2月7日消息，据国家知识产权局公告，拓荆科技股份有限公司申请一项名为“一种设备对接装置、方法和半导体加工设备“，公开号CN117524954A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种设备对接装置、设备对接方法和半导体加工设备。设备对接装置包括：激光发射器，用以提供定位激光；第一标靶，设置于第一设备上，以使所述定位激光穿过；以及第二标靶，设置于待与所述第一设备对接的第二设备上，并且所述第二标靶上包括测距部，用以根据穿出所述第一标靶的所述定位激光，调整所述第二设备的位置，以使所述定位光线穿过所述第二标靶。通过上述设备对接装置，能够优化设备之间对接的装配难点，提高设备对接的准确性，减少设备对接所耗费的工时。