来源 :格隆汇2023-11-02
拓荆科技(688072.SH)接受特定对象调研时表示，公司研制的PE-ALD设备已实现量产，可以沉积SiO2、SiN等介质薄膜材料，Thermal-ALD设备已出货至不同客户端进行验证，可以沉积Al2O3等金属化合物薄膜。