拓荆科技(688072.SH)：PECVD设备是公司的核心产品

　　格隆汇7月25日丨拓荆科技(688072.SH)近期在接待机构投资者调研时表示，PECVD设备是公司的核心产品，公司自成立就开始研制 PECVD设备，在PECVD设备技术领域具有十余年的研发和产业化经验，并形成了覆盖全系列 PECVD 薄膜材料的设备，已在集成电路领域广泛应用；公司研制的ALD设备系列产品包括PE-ALD设备和Thermal-ALD设备，PE-ALD设备已实现量产，可以沉积SiO2、SiN等介质薄膜材料，Thermal-ALD设备已出货至不同客户端进行验证，可以沉积Al2O3等金属化合物薄膜，同时，公司持续拓展ALD设备薄膜种类及工艺应用；SACVD和HDPCVD设备均已实现产业化，正在持续提升量产应用规模。