来源 :格隆汇2022-09-30
拓荆科技(688072.SH)公布，公司于2022年9月30日召开了第一届董事会第十四次会议和第一届监事会第八次会议，同意使用超募资金9.3亿元投资建设新项目并向全资子公司拓荆上海增资以实施新建项目。投资项目为半导体先进工艺装备研发与产业化项目。
该项目将在上海市自由贸易试验区临港新片区建设研发与产业化基地，用于先进ALD设备及工艺的研发，并实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化。