拓荆科技：PEALD设备已实现产业化应用，ThermalALD目前根据客户指标进行验证测试

　　拓荆科技于近日接受投资者调研时表示，公司PEALD设备可以覆盖逻辑芯片55-14nm SADP、STI工艺及存储领域，该产品已实现产业化应用；Thermal ALD主要应用于28nm以下制程逻辑芯片，目前根据客户指标进行优化设计和验证测试。