莱伯泰科：计划与头部晶圆企业合作将质谱仪辐射至半导体上下游单位 助力我国半导体产业发展

　　莱伯泰科今日官微消息，随着我国半导体产业快速发展，质谱仪作为芯片制造过程中的关键检测设备，其国产替代意义重大。目前，莱伯泰科与国内头部晶圆企业建立了合作关系，计划将LabMS 5000电感耦合等离子体串联四极杆质谱仪辐射到半导体上下游产业单位。莱伯泰科质谱研发部产品经理王娟表示，团队将针对行业特点开发湿电子化学品、实时在线晶圆中超痕量元素等分析方法，为半导体制程中的质量控制提供技术支撑，助力半导体行业发展。