龙腾光电取得阵列基板及制作方法专利，降低成本提高生产效率

　　据国家知识产权局公告，昆山龙腾光电股份有限公司取得一项名为“阵列基板及制作方法“，授权公告号CN113690180B，申请日期为2021年8月。

　　专利摘要显示，一种阵列基板及制作方法，制作方法包括：提供基底；在基底上形成栅极、栅极绝缘层、源极、漏极、有源层和像素电极；在基底上设置覆盖源极、漏极、有源层和像素电极的绝缘层；在绝缘层上设置第一金属氧化物层；在第一金属氧化物层上设置第一金属层；在第一金属层设置第一阻挡层；在第一阻挡层上设置第一光阻层；利用第一半色调掩膜板对第一光阻层进行曝光和显影；对第一金属氧化物层、第一金属层、第一阻挡层进行蚀刻，使第一金属氧化物层形成公共电极和导电部，使第一金属层形成数据线，使第一阻挡层形成覆盖数据线上的第一蚀刻阻挡部。本发明提供的阵列基板及制作方法减少了多道光罩制程，降低了成本、提高了生产效率。