芯源微申请排风管道清洁专利，可以实现管路内壁废气残留物的清洁

　　据国家知识产权局公告，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“一种应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置及方法”，公开号CN117427971A，申请日期为2022年7月。

　　专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置及方法。该装置包括废气前置处理装置、清洁液喷洒装置、竖直废气导出管路及废气废液汇集管路，其中竖直废气导出管路的侧壁上沿高度方向间隔设有多个废气前置处理装置，废气前置处理装置用于废气的入口及残留物清除；清洁液喷洒装置设置于竖直废气导出管路的上端，清洁液喷洒装置用于向竖直废气导出管路的内壁喷洒清洁液；废气废液汇集管路设置于竖直废气导出管路的下端，废气废液汇集管路用于废气和废液的分离和导出。本发明通过废气残留物导出装置配合清洁液喷洒装置及废液排放管路，进行管路内壁废气残留物的清洁，清洁效果较好，降低成本。