半导体专用设备供应商芯源微（688037.SH）经营业绩再现高速增长。
4月17日晚间，芯源微披露的年报显示，2022年度，公司实现营业收入13.85亿元，同比增逾60%，归属于上市公司股东的净利润（以下简称“净利润”）2亿元，同比增长约1.6倍。
近几年，伴随着半导体行业高景气，芯源微的经营业绩高速增长。2020年、2021年，公司的净利润同比增速均在60%左右。
芯源微称，2022年，公司产品竞争力不断增强，新签订单规模同比大幅增长。公司乐观预计，未来，公司业绩还将保持快速增长。
芯源微的自信源于通过自主研发，获得多项实质性突破，多个核心零部件实现了国产替代。
芯源微的研发投入也增长。2022年，其研发投入同比增逾60%，研发人员薪酬年均增加2.3万。
营收净利连续三年高增长
半导体行业高景气之下，产业链上的企业芯源微高速成长。
根据年报，2022年，芯源微实现营业收入13.85亿元，同比增长67.12%，净利润、扣除非经常性损益的净利润（以下简称“扣非净利润”）分别为2亿元、1.37亿元，同比增长158.77%、114.99%。
季度数据显示，公司经营业绩整体良好。去年一、二、三、四季度，公司实现的营业收入分别为1.84亿元、3.21亿元、3.92亿元、4.88亿元，同比增长61.99%、34.97%、99.93%、74.43%。对应的净利润分别为0.32亿元、0.37亿元、0.74亿元、0.57亿元，同比增长398.34%、29.50%、308.63%、135.48%。扣非净利润与净利润的变动趋势基本相同。
芯源微成立于2002年12月，培育蛰伏多年，2019年12月16日通过闯关IPO在科创板挂牌交易。
从公开业绩数据看，2016年，公司实现的营业收入、净利润分别为1.48亿元、0.05亿元，实现了盈利。2017年至2019年，公司实现的营业收入分别为1.90亿元、2.10亿元、2.13亿元，对应的净利润分别为0.26亿元、0.30亿元、0.29亿元，低位徘徊。
2020年、2021年，上市后的第二、三年，公司实现的营业收入分别为3.29亿元、8.29亿元，同比增长54.30%、151.95%，对应的净利润分别为0.49亿元、0.77亿元，同比增长66.79%、58.41%，均为快速增长。
综上所述，2020年至2022年，公司的营业收入、净利润实现了连续三年高速增长。相较2020年、2021年，2022年的净利润同比增速明显提升。
针对2022年加速增长的经营业绩，芯源微解释称，公司产品竞争力不断增强，新签订单规模同比大幅增长。同时，面对疫情带来的不利影响，公司积极采取多种措施保供保产，确保了生产经营活动的正常进行，实现了客户端订单的有序交付及顺利验收，收入规模持续增长。此外，公司集成电路前道晶圆加工领域产品收入实现快速放量，同时保持小尺寸（如LED、化合物半导体等）及集成电路后道先进封装领域产品收入稳步增长，带动利润大幅增长。
那么，2022年的业绩是否健康？截至2022年底，芯源微的应收票据及应收账款为2.89亿元，较2021年的2.68亿元增长7.84%，大幅低于营业收入增速。公司实现的经营现金流净额为1.93亿元，2020年、2021年分别为-0.72亿元、-2.18亿元。2022年，公司的经营现金流明显改善。
多项关键技术取得突破
芯源微的研发也取得重大突破。
年报披露，2022年，芯源微生产的前道涂胶显影设备在多项关键技术方面取得突破，成功掌握了超高温度与超高精度烘烤固化技术、自动光学缺陷检测技术等核心技术，可满足更高等级的工艺需求，公司在WEE边缘曝光技术、边缘旋涂技术方面实现了工艺突破，可实现核心腔体小型化并为客户节省光刻胶。此外，公司在NTD负显影技术方面也取得良好进展，为下一代高端工艺提供更丰富和先进的解决方案。
去年12月，芯源微发布了全新产品——浸没式高产能涂胶显影机。作为芯源微前道涂胶显影机第三代机型，机台应用了其独创的对称分布高产能架构，搭载其自主研发的专用机械手，可大幅提升整机的机械传送产能和传送精度，能够匹配全球主流光刻机联机生产。公司的新产品可以覆盖国内28nm及以上所有光刻工艺节点，实现全面国产替代。
2017年，芯源微苦于单一供方垄断，布局了多个核心部件的合作研发和国产替代，经过长期多轮次的改进升级验证应用，核心部件实现了国产替代。这些替代，保证供应链的自主可控的同时，也将大幅降低成本，提高整机产品竞争力。
研发获得重大突破，新品上市，芯源微前道涂胶显影机签单实现了快速放量，其中offline、I-line、KrF机台均实现批量销售。浸没式机台已陆续获得国内多家知名厂商订单，超高温Barc机台也成功实现了客户导入。去年四季度，首台浸没式高产能涂胶显影机在国内某知名客户处完成验证，已顺利实现验收。
目前，国内前道涂胶显影设备市场仍然被日本东京电子高度垄断。芯源微称，其是国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商，在国内市场份额有望实现快速提升。
此外，公司前道物理清洗机此前已打破国外垄断，已广泛应用于中芯国际、上海华力、青岛芯恩、广州粤芯、上海积塔、厦门士兰等一线大厂，已成为国内晶圆厂baseline产品。
芯源微持续加大研发投入，2022年，公司研发投入为1.52亿元，同比增长64.47%，研发投入占营业收入的比重为10.99%。
截至2022年12月31日，芯源微共获得专利授权245项，其中发明专利171项。