来源 :证券时报2022-12-15
芯源微:公司定于12月17日上午10:30召开浸没式高产能涂胶显影机新品发布会,本次发布的产品为公司最新的前道浸没式高产能涂胶显影机。该机型采用公司独创的对称分布高产能架构,满配36Spin处理单元,搭载公司自主研发的双向同步取放机械手,可大幅提升整机的机械传送产能和传送精度,能够匹配全球主流光刻机联机生产。