来源 :智通财经2022-12-13
12月13日，芯源微(688037.SH)在2022年第三季度业绩说明会上表示，公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破；光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均达到国际先进水平。前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平。公司前道offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售，下游客户覆盖国内头部逻辑、存储、功率器件等客户，前道Track签单实现了快速放量；前道物理清洗机继续巩固国内市场龙头地位；后道及小尺寸销售也符合公司签单预期。