来源 :上证e互动2022-01-28
安集科技(688019)您好，请问贵司化学机械抛光液产品中是硅溶胶和气相二氧化硅结合使用吗？还是分别有不同的产品？
尊敬的投资者您好，公司化学机械抛光液产品分别包括硅/多晶硅抛光液，浅槽隔离（STI）抛光液，介电材料（二氧化硅、氮化硅）抛光液，钨抛光液，铜及铜阻挡层抛光液，三维集成（TSV、混合键合等）抛光液和应用于第三代宽带半导体的抛光液等系列产品。不同系列抛光液中使用到的研磨颗粒的种类、占比均不相同，谢谢您的关注！