来源 :上证e互动2026-01-23
中微公司(688012)请问董事长，贵司的刻蚀机目前的技术水平能和国际上的哪家公司持平呢？哪些产品已经超过国际最高制程的水平？
您好，公司紧跟技术发展趋势和客户需求，坚持自主创新，致力于产品的差异化，持续强化刻蚀设备的技术领先优势。公司在过去的20多年着力开发了一个完整系列的20种等离子体刻蚀设备，并积累了大量的芯片生产线量产数据和客户验证数据。公司CCP和ICP刻蚀机的单双反应台并举策略的优势凸显，对各个技术节点的工艺应用形成有效的覆盖。同时，公司大力投入先进芯片制造技术中关键刻蚀设备的研发和验证，目前针对逻辑和存储芯片制造中最关键刻蚀工艺的设备在客户的产线验证进展顺利，CCP和ICP设备中的部分先进机型成为先进器件生产中关键工艺的主力机型。公司始终以最先进器件制造的需求为指引，不断加大投入，着力研发先进器件生产亟需的高端设备。谢谢您的关注。