来源 :上证e互动2026-01-23
中微公司(688012)请问老师，贵司有没有技术支持国产EUV的光刻机研发呢？
您好，中微公司是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司。公司目前开发的产品以集成电路前道生产的等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备、量检测设备以及湿法设备等关键设备为主，并已逐步开发应用于后道先进封装、MEMS、MiniLED、MicroLED、OLED等领域的泛半导体设备产品。公司业务不涉及光刻机，感谢您对公司的关注和支持。