来源 :上证e互动2023-11-24
中微公司(688012)董秘您好，请问贵司的3nm刻蚀机是否已经量产？谢谢
您好，公司开发的刻蚀设备能够覆盖诸多先进工艺的制程要求。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。谢谢您的关注。