来源 :上证e互动2023-04-24
中微公司(688012)公司ICP刻烛设备可以应用到存储芯片DRAM10nm以上吗
您好，公司已有的ICP刻蚀设备可以满足55nm，40nm和28纳米逻辑芯片制造中的ICP刻蚀工艺，以及在更先进的逻辑芯片、DRAM、3DNAND存储芯片和特色器件等芯片制造中不断拓展可刻蚀应用范围。更多进展情况请关注公司披露的公告。谢谢您的关注。