中微公司全球第500台MOCVD设备顺利付运

　　（全球TMT2022年10月26日讯）10月25日，中微半导体设备（上海）股份有限公司宣布：全球第500台MOCVD设备顺利付运国内一家专业从事LED外延片和芯片的研发生产制造商。本批次运付的第500台MOCVD设备为中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax?，主要用于氮化镓基Mini LED外延片量产。

　　作为专为高性能Mini LED量产而设计的MOCVD设备，Prismo UniMax?具备高产能和高灵活性的特点，在同一系统中可配备多达4个反应腔，每个反应腔均可实现独立控制。Prismo UniMax?配置了785mm大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计配置，最多可实现同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高产能并降低生产成本。此外，Prismo UniMax?创新的多区辅助加热调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度提升LED波长均匀性。