来源 :上证e互动2022-03-01
中微公司(688012)您好，ALE原子层刻蚀中微有研发或者研发计划吗
您好，公司有ALE原子层刻蚀设备的研发计划，属于公司2020年再融资募投研发项目之一。谢谢您的关注。