中微公司：在薄膜设备领域，公司目前已经组建团队在开发LPCVD设备和EPI设备

　　中微公司(688012)您好，请问贵公司薄膜沉积设备是否已量产，目前销售规模如何，谢谢。

　　您好，在薄膜设备领域，公司目前已经组建团队在开发LPCVD设备和EPI设备，研发进展按计划进行中，同时公司将在适当时机通过并购等外延式成长途径扩大产品和市场覆盖。感谢您的关注。