来源 :上证e互动2021-09-10
中微公司(688012)尊敬的董秘您好。公司作为国内领先的刻蚀机生产厂商，目前在刻蚀环节采用的半导体耗材以单晶硅为主，随着晶圆尺寸的不断变大，对作为耗材的硅电极的大尺寸要求也越来越高。而多晶硅在做大尺寸方面更有优势，公司生产的刻蚀机能否适用多晶硅半导体耗材呢？谢谢
您好，多晶硅在物理性质及稳定性上目前还无法满足公司现有的设备加工要求。感谢您的关注。