2021-09-02日中微公司（688012）发布公告称：鹏山资产、海通证券、上海中金资本投资有限公司、深圳河床投资管理有限公司、安信证券股份有限公司、西部证券、白犀资产、安信资产管理有限公司、上海金辇投资管理有限公司、万联证券股份有限公司、国海证券研究所、旭松资本、深圳固禾资产管理有限公司、上海宇摩投资管理有限公司、卓岭基金、IGWT Investment、东兴证券、Acuity Knowledge、西南证券、国泰基金、中信保诚基金、大成资本、广州市乐鑫股权投资基金管理有限公司、远望角投资、上海煜德投资管理中心(有限合伙)、建信基金、中颖投资、丰琰投资、西藏合众易晟投资管理有限公司、兴银基金、上海煜德投资管理中心、浙江殷实投资、中欧瑞博投资管理股份有限公司、安徽中珏投资、上海钧犀实业有限公司、荷兰汇盈投资、远洋资本、开源证券、招商基金、汇丰晋信基金、中投公司、海通证券、东亚前海证券、北京成阳资产管理有限公司、成都市柏然私募基金管理有限公司、西南证券股份有限公司、广发基金、APG ASSET Management、安聯证券投资信托股份有限公司、中银资管、长江养老、浙商自营、兴业银行理财、元大投信、浙商资管、招银国际资本管理(深圳)有限公司、中国人寿资产、上海创徒投资、中金公司、华泰新产业基金、博时基金、The Pictet Group、海通创新、兴业基金、溪牛投资管理(北京)有限公司、天風國際、汐泰投资、明示伙伴基金、龙石资本、东吴基金、友邦保险资产管理、鹏城基石、嘉实基金、泰康养老保险股份有限公司、海富通基金管理有限公司、领骥资本、常亿资本、上投摩根基金管理有限公司、上海仁布投资管理有限公司、鹏扬基金、復華投信、安邦资产管理有限责任公司、Nomura International、盤厚资本、Baring Asset Management (Asia) Limited、中信证券、广发证券、巨然管理咨询有限公司、招商银行、上海杰讽投资管理有限公司、丰岭资本、国海证券、华夏基金、西藏源乘投资管理有限公司、国联安基金、中信建投基金、太平基金、三井住友德思资产管理股份有限公司、上海肇万资产管理有限公司、浙江锦和投资管理有限公司、百年保险资产管理、国融基金、上海混沌投资集团有限公司、上海弈慧投资管理有限公司、长江证券股份有限公司、青岛韬观投资、人保资产、聆泽投资、山合投资、碧云资本、中建投资本、安信基金、云杉投资、New Silk Road Investment、大成基金、上投摩根、浙江韶夏投资管理有限公司、招商证券香港资管、永安国富、申万宏源资管、易知(北京)投资有限责任公司、淡泰资本、南华基金、东亚联丰投资管理(深圳)有限公司、江西济民可信集团、深圳前海精至资产管理有限公司、上海杰沨投资管理有限公司、云能资本、创金合信基金、江海证券资管、国信证券、前海人寿保险股份有限公司、云南能投资本投资有限公司、招商证券、江海证券、江海证券有限公司、德邦证券有限公司、国融资本、涌津投资、锐意资本、北京永瑞财富投资管理有限公司、交银康联资产管理有限公司、财信证券、上海彤源投资发展有限公司、汇蠡投资、Centerline IM、中华联合、毅达股权投资基金管理有限公司、景林资产、国金证券、国泰君安证券投资部、民生通惠资产管理有限公司、平安银行、天风证券研究所、澄怀投资、淡水泉投资、财通证券、杭银理财、JPMorgan Asset Management (China) Limited、杭州锦翼投资、国盛证券、泰康资管、中银国际证券、华泰证券、聚鸣投资、深圳市微明恒远投资管理有限公司、中金基金管理有限公司、摩根士丹利华鑫基金、工银瑞信、深圳市凡石资本管理有限公司、上海乘安资产管理有限公司、路博邁基金、Chicago Pacific、华安财保资产管理有限责任公司、顺领资产、上海顺领资产管理中心(有限合伙)、中天证券股份有限公司(自营)、富荣基金、朗润利方资产管理有限公司、兴业证券、淳厚基金、国元证券、方正证券、上海毅木资产管理有限公司、敦和资产、杭州玖龙资产管理有限公司、北京和信金创投资管理有限公司、宜信投资、上海保银投资管理有限公司、臻远投资、LSQ management、國泰投信(投资部)、灏浚投资、深圳睿泽资本、上海石锋资产管理公司、东北证券、九派资本、中银国际证券股份有限公司、北京万银华富资产管理有限公司、首创证券有限责任公司、光合未来(青岛)投资管理有限公司、杭州宽合投资、上海慧琛私募基金、杭州润洲投资管理有限公司、华安证券、上海世诚投资管理有限公司、光大保德信基金、中邮创业基金管理股份有限公司、开源证券股份有限公司、北京乾和私募基金管理有限公司、誉华资产管理(上海)有限公司、红象投资管理有限公司、安信证券、中信保诚基金公司、未来资产大宇证券、亚太财产保险有限公司、平安基金管理有限公司、乐瑞资产、中信理财权益、长江证券研究所、国君资管、北京市星石投资管理有限公司、长江养老保险股份有限公司、广发证券研究所、上海朴信投资管理有限公司、青骊投资、金信基金、元昊投资、华元恒道(上海)投资管理有限公司、中信证券股份有限公司、国投聚力投资管理有限公司、山东明湖投资管理有限公司、华菁证券(资管)、华安基金、国信证券股份有限公司、格林基金、天麒投资有限公司、光大保德信、涌德瑞烜(青岛)私募基金管理有限公司、融通基金、敦和资产管理有限公司、西部利得基金、北京神农投资、华泰证券资产管理有限公司、爱建证券(自营)、殷实(广州)私募证券投资基金管理有限公司、上海宏流投资管理有限公司、大家资产、财通基金、天风证券、上海汇华理财有限公司、中信建投证券股份有限公司(资管)、诺安基金、同泰基金、上海途灵资产管理有限公司、通用技术投资、兴业银行研究子公司、太和先机资产管理有限公司、东兴基金、广州云禧私募证券投资基金管理有限公司、恒越基金、善道投资、明河投资、中睿合银投资管理有限公司、长江养老保险、华润元大基金管理有限公司、世诚投资、天安财产保险股份有限公司、毕盛(上海)投资管理有限公司、Lombard Odier、银华基金、深圳市景从资产管理有限公司、申万宏源资管权益投资总部、禹合资产管理有限公司、渤海汇金、瑞华投资、登程资产、上海乾璟投资管理、申万宏源、天风国际证券、申万宏源研究所、国联证券、蔷薇资本有限公司、诚业投资、中信建投证券、兴银理财、平安基金、亘曦资产、中信产业基金、国投瑞银基金管理有限公司、雪石资产、施罗德投资、申银万国、归德投资、兴业信托资产管理部、湖北中经资本投资发展有限公司、马可波罗中国资产管理公司、明世伙伴基金、幻方量化投资管理企业、君和资本、深圳前海固禾资产管理有限公司、北京合正普惠投资管理有限公司、中信建投证券股份有限公司、唐融投资、安信证券资产管理有限公司、浙江淳毅资产管理有限公司、中银证券、国泰君安资管、嘉合基金、上海泊通投资管理有限公司、长江证券、首域盈信、深圳市智信创富资产管理有限公司、华西证券、上海伏明资产管理有限公司、北京凯读投资管理有限公司、华夏理财有限责任公司、文治资本、长安基金、海通证券资产管理有限公司、沣杨资产管理有限公司、中融基金、磐厚动量(上海)资本管理有限公司、上海远海资产、玖龙资产、东方阿尔法基金、盛世景资产、MINDHAND CAPITAL、高盛、北京擎天普瑞明投资管理有限公司、亚太财险、WT Asset、深圳金泊投资管理有限公司、Oakwise Capital、瑞橡资本、上海源品资产管理有限公司、睿格资产、北京泓澄投资管理有限公司、中信建投、上海执云投资管理有限公司、中再资产、博笃投资、华美国际投资集团、鋆昊资本、华创研究所、南华基金管理有限公司、国盛证券研究所、Ruifeng Sec AM、北京时田丰投资管理有限公司、北信瑞丰基金、丹羿投资、南京弘翰资产管理有限公司、光大证券股份有限公司、幻方量化、阳光资产、Morgan Stanley、广东南传资产管理有限公司、广州由榕股权投资管理有限公司、中加基金管理有限公司、上海汇利资产、挚信资本、瑞士盈丰资产管理、守正基金、瑞信、信达证券、华安证券研究所、花旗、Brilliance、方圆基金、C.M. Capital、首创证券、江苏汇鸿汇升投资管理有限公司、东方财富证券股份有限公司、鑫元基金、盈峰资本、元大证券、正心谷资本、三星资产管理、裕晋投资、弘毅投资、东方证券、中科沃土基金、和坤资本、方正资管、深圳市翼虎投资管理有限公司、工银瑞信基金管理有限公司、富利达基金管理(珠海)有限公司、重庆博永投资管理有限公司、泰旸资产、红塔证券资管、平安人寿、榕树投资管理有限公司、尚正基金管理有限公司、上海博道基金、北京长青基业管理技术有限公司、由榕资产、大岩资本、东方证券资产管理有限公司、翼虎投资、东兴证券基金部、Schroders、深圳市前海粤鸿金融投资有限公司、西泽投资、前海联合基金、潼骁投资、华安证券股份有限公司自营、招银理财有限责任公司、德邦证券、北京汇信聚盈私募基金管理有限公司、光大资管、财通证券资产管理有限公司、西部证券权益投资部、Franklin Templeton、上海潼骁投资发展中心(有限合伙)、华金证券股份有限公司、北京城天九投资、相聚资本管理有限公司、天津津联、中航证券有限公司、深圳九方资产管理有限公司、先锋基金、光大证券(自营)、富蘭克林華美投信、鲍尔太平有限公司、展博投资、佛山市东盈投资管理有限公司、银河证券、高瓴资本、长城财富保险、上海高毅资产管理合伙企业、砥俊资产管理中心(有限合伙)、德邦基金、中银三星人寿、中信建投基金管理有限公司、广发证券股份有限公司、上海敦颐资产管理有限公司、润邦投资、华融证券资管、天安人寿保险股份有限公司、博道基金、东吴证券投资总部、江苏瑞华投资控股集团、鹏华基金、农银理财、重阳投资、天虫资本、华福证券、石锋资产、申万研究、野村资管、北京银盛泰资本、上海申银万国证券研究所有限公司、新时代证券研究所、广州市航长投资管理有限公司、上海道邦投资咨询有限公司、国金证券(自营)、人保资产管理有限公司、深圳前海海雅金融控股有限公司、陆家嘴国泰人寿、国都基金、康曼德资本、幸福人寿保险公司、北京遵道资产管理有限公司、广银理财、宁泉资产、南方天辰(北京)投资管理有限公司、万润科技、上海德邻众福投资管理有限公司、上海晨燕资产管理中心、上海工聘资产管理有限公司、中国银河证券自营、德邦证券股份有限公司(资管)、施罗德基金、深圳昭图投资、中华联合保险集团股份有限公司、中华联合保险集团、光大证券、华安证券自营、华泰保兴基金、上海力元股权投资管理有限公司、Credit Suisse、丰琰投资管理(浙江自贸区)有限公司、上海银叶投资有限公司、华兴资本、北京鼎萨投资有限公司、Ariose Capital、浙商证券、远致富海、瑞银证券、东海证券(资管)、淡水泉(北京)投资管理有限公司、天安人寿保险、一度天使(投资)、盛世景资产管理集团股份有限公司、平安证券股份有限公司、汇丰证券、高华证券、平安证券、南方工业资产管理有限责任公司、中银国际、狮城产业投资咨询(上海)有限公司、汇丰前海、富达国际、润晖投资、上海森锦投资管理有限公司、诚盛投资、联新资本、深圳市尚诚资产管理有限责任公司、Harvest Global Investments、信泰人寿保险股份有限公司、Macquarie Group Limited、上海益菁汇资产管理有限公司、新时代证券股份有限公司于2021-08-01日调研我司，本次调研由董事长兼总经理尹志尧,财务负责人兼副总经理陈伟文,副总经理倪图强,副总裁兼董事会秘书刘晓宇,副总裁兼MOCVD产品部总经理郭世平,证券事务代表胡潇,财务部副总监庄宇峰,董事会办公室经理周菡清负责接待。
本次调研主要内容：
董事长尹志尧介绍公司2021年上半年业绩情况:半导体设备是集成电路和泛半导体微观器件产业的基石,而集成电路和泛半导体微观器件,又是数码时代的基础。随着微观器件越做越小,半导体设备,特别是关键设备等离子体刻蚀设备、薄膜设备和光刻设备的极端重要性更加凸显出来。公司主要为集成电路、LED外延片、功率器件、MEMS等半导体产品的制造企业提供刻蚀设备、MOCVD设备及其他设备。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。公司MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产,公司已成为世界排名前列的氮化镓基LED设备制造商。2021年上半年,公司实现营业收入13.39亿元,同比增长36.82%;毛利率42.34%,较上年同期的33.92%增长约8.42个百分点;实现归属于上市公司股东的净利润为3.97亿元,同比增长233.17%。今年上半年新签订单金额达18.89亿元,同比增长超过70%,且有部分Mini-LEDMOCVD设备规模订单已进入最后签署阶段。公司在刻蚀设备和MOCVD等设备产品研发、市场布局、新业务拓展等诸多方面取得了较好的进展,为公司持续健康发展提供了有力支撑。公司将继续瞄准世界科技前沿,持续践行三维发展战略,深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会,推进实现高速、稳定、安全发展。问答环节主要内容:
1、中微公司上半年新签订单达18.89亿元,请问这些收入是否反应在中报收入内?答:2021年上半年新签订单金额达18.89亿元,同比增长超过70%,且有部分Mini-LEDMOCVD设备规模订单已进入最后签署阶段。上半年新签订单中有部分已经反应在中报收入中。
2、公司的刻蚀设备和MOCVD等设备产品在国际国内的技术水平和市占率情况,在今后的发展规划方面有何新的计划?答:公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。公司MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产,公司已成为世界排名前列的氮化镓基LED设备制造商。公司从三个维度扩展业务布局:深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会。在集成电路设备领域,公司将持续强化在刻蚀设备领域的竞争优势,并延伸到薄膜、检测等其他关键设备领域;公司计划扩展在泛半导体领域设备的应用,布局显示、MEMS、功率器件、太阳能领域的关键设备;公司拟探索其他新兴领域的机会,利用好设备及工艺技术,考虑从设备制造向器件大规模生产的机会,以及探索更多集成电路及泛半导体设备生产线相关领域的市场机会。
3、LED市场有什么变化导致mocvd增速下降。很多led开启定增,中微判断未来led设备采购意愿如何?答:目前MOCVD设备主要是用于氮化镓及砷化镓半导体材料外延生长,其中氮化镓基LEDMOCVD主要用于生产氮化镓基LED的外延片,以通用照明为主要市场。近年来,LED的应用迅速扩大,但是通用照明领域新增扩产较少。除通用照明外,背光显示的蓝光LED、高端显示的Mini-LED和Micro-LED、用于杀菌消毒和空气净化的紫外LED、应用于电力电子的功率器件等领域对MOCVD设备的需求持续提升。Mini-LED作为一种新兴技术备受关注。Mini-LED具有高亮度、精确的动态响应和高对比度等优势,能够显著提升显示品质。2020年以来,Mini-LED在电视机领域取得了良好应用,在显示器、笔记本、平板等领域,Mini-LED产品也不断诞生并开始批量出货。预计未来公司MOCVD设备的销售也将以MiniLed(背光领域)和MicroLED(直显领域)设备为主,目前公司已有部分Mini-LEDMOCVD设备规模订单进入最后签署阶段。
4、纵观全球的市场来看,国产厂商的购买力仍然较弱,半导体设备的购买力仍然主要由三星、台积电、英特尔贡献,公司如何在海外市场与国际一线厂商竞争?今年取得了哪些成就?答:公司特别重视核心技术的创新。在开发、设计和制造刻蚀设备、MOCVD及其他高端设备的过程中,始终强调创新和差异化并保持高强度的研发投入。通过核心技术的创新,公司的产品已达到国际先进水平。在逻辑集成电路制造环节,公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到5纳米等先进的芯片生产线上;同时,公司根据先进集成电路厂商的需求,已开发出小于5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工,并已获得行业领先客户的批量订单。公司目前正在配合客户需求,开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺,能够涵盖5纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。在3DNAND芯片制造环节,公司的电容性等离子体刻蚀设备可应用于64层和128层的量产,同时公司根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够涵盖128层及以上关键刻蚀应用以及相对应的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。此外,公司的电感性等离子刻蚀设备已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产,根据客户的技术发展需求,正在进行下一代产品的技术研发,以满足5纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3DNAND芯片等产品的ICP刻蚀需求,并进行高产出的ICP刻蚀设备的研发。
5、目前国产晶圆厂正处于高强度的扩产周期,但是观察到中微公司截止到今年7月底中标的刻蚀机项目非常少,尤其是中芯国际、华虹半导体、长江存储等大型项目均没有见到中微公司的产品中标,请问是出于什么原因?后续公司如何能够把握住这次扩产风口带来的机会?答:公司积极关注下游市场扩产计划并努力争取各种可能的市场机会,公司的刻蚀设备在国内主要客户端市场占有率不断提升。网上披露的中标情况可能属于分阶段或分批次披露。目前公司在手订单饱满,公司2021年上半年新签订单金额达18.89亿元,同比增长超过70%,其中刻蚀设备订单占相当比例。
6、公司6月末的合同负债余额较上年末余额下降了1.6亿元的原因。答:2021年6月末公司合同负债(预收账款)余额下降为4.33亿元,较上年末余额的5.92亿元下降了1.59亿元,主要是公司2021年上半年新签订单金额达18.89亿元,同比增长超过70%,但本期新签的刻蚀大量订单还未发货因此截至报告日未收到预收款,另外有部分Mini-LEDMOCVD设备规模订单于6月末已进入最后签署阶段,因此也未收到预收款。
7、公司目前用于Mini-Led生产的MOCVD设备目前在客户端验证进度如何?是否已经取得批量订单?答:公司于2021年6月17日正式发布用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备PrismoUniMax,目前该设备在客户端进度良好且已取得行业领先客户批量订单。公司目前有部分Mini-LEDMOCVD设备规模订单也已进入最后签署阶段。
8、可否介绍一下公司上半年的业绩情况?答:公司2021年上半年度营业收入为13.39亿元,较上年同期增长36.82%,主要系:受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势,公司2021年上半年刻蚀设备收入为8.58亿元,较去年同期增长约83.79%,毛利率达到44.29%。由于下游市场原因,公司2021年上半年MOCVD设备收入为2.19亿元,较去年同期下降约10.08%,但本期MOCVD设备的毛利率达到30.77%,较去年同期有大幅度提升。2021年上半年度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益后的净利润为0.62亿元,较上年同期增加约0.21亿元,增长幅度为53.35%,主要系:(1)公司本期营业收入增长36.82%,同时本期毛利率为42.34%,较上年同期的33.92%增长约8.42个百分点,公司本期毛利较上年同期增加约2.35亿元;(2)本期股份支付费用较上年同期增加约1.45亿元;(3)由于员工人数和员工薪酬的增长,本期不含股份支付费用的销售费用、管理费用和研发费用合计较上年同期增加约0.20亿元。若剔除股份支付费用影响后,2021年上半年度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为2.06亿元,较上年同期的0.4亿元同比增长约413.4%。2021年上半年度归属于上市公司股东的净利润为3.97亿元,较上年同期增加约2.78亿元,增长约233.17%,主要系:(1)扣除非经常性损益后的净利润较上年同期增加约0.21亿元;(2)本期产生公允价值变动损益1.71亿元,包括公司2020年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业(有限合伙)3亿元而间接持有中芯国际集成电路制造有限公司科创板股票,因本期中芯国际集成电路制造有限公司股价变动导致公司产生公允价值变动收益约0.74亿元;以及经评估师事务所评估,其他非流动金融资产(非上市公司股权投资)本期产生公允价值变动收益约0.98亿元;(3)计入当期损益的政府补助(非经常性损益)较上年同期增加约1.44亿元。
9、请问股份支付费用是什么费用,和扣非利润有什么关系?答:股份支付费用是指公司在2020年度对公司管理层和员工授予第二类限制性股票和股票增值权,按照企业会计准则规定所计入的费用。该类费用为经常性损益。2021年上半年股份支付费用为1.45亿元,若剔除股份支付费用影响后,2021年上半年度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为2.06亿元,较上年同期的0.4亿元同比增长约413.4%。
10、公司投资的睿励仪器经营状况如何,和公司的协同效应强吗?答:睿励仪器是集成电路装备领域的领先公司,目前按其自身计划正稳步推进生产经营及产品开发。睿励仪器与公司的客户和供应商都有较大程度的重叠。通过双方的合作,可以向客户提供配套的芯片制程解决方案,具有较强的产业协同效应。
11、公司海外主要销售哪些产品,最近的那个净化设备有没有实现销售,公司采取了哪些推广措施?答:您好,公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米工艺的众多刻蚀应用,公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产,目前已在全球氮化镓基LEDMOCVD设备市场占据领先地位。子公司中微惠创利用分子筛的吸附原理的化学反应器,开发制造了工业用大型VOC净化设备并已实现销售。今年上半年,中微惠创与德国DAS环境专家有限公司签订战略合作协议,双方将在半导体行业尾气处理设备领域展开紧密的合作,共同推动环保科技行业的发展。
12、公司的人才培养计划是怎么样的?答:公司目前大约1/4是外籍员工。我们的目标是建立以中国为基地,面向世界的公司。主要的成员都是中国人,包括后来培养起来的年轻专家、产品、工程、管理人员大部分都是中国人。中微为不断培养出新生代力量做了大量工作,形势很好。
13、ICP\CCP的技术规划?答:从刻蚀设备细分种类的市场规模来看,十年前CCP设备的市场占比约为60%,ICP的市场占比约为40%。根据当今的市场调研结果,ICP设备的市场占比已经超过CCP设备,占比约为60%。ICP设备用在前道工序较多,CCP设备用在后道工序较多。由于中微公司率先开发并推向市场的是CCP设备,所以设备用在后道工序比较多。后来公司成功研发并推出了ICP设备,很多前道工序也都能做了,并且效果不错,公司希望逐步全面覆盖芯片刻蚀工序。
14、展望200多层的3DNAND、以及逻辑器件新工艺对刻蚀技术及设备的影响?答:刻蚀设备是工艺过程非常难的设备,每一种微观器件的设计都不一样,经粗略统计目前市场上7种典型器件大概有超过460个刻蚀步骤,每个步骤都需要开发不同的刻蚀设备。1)微观器件越做越小,光刻机由于波长的限制,10nm以下的芯片加工需要薄膜设备和刻蚀设备组合完成加工。14nm芯片需要大约500-600个加工步骤,5nm芯片加工步骤提高到1000次以上,其中刻蚀的加工步骤增加三倍到150-160次。相关工艺技术面临的挑战大,同时市场机会也非常多。2)芯片层数越来越多、从2D结构到3D结构。其中刻蚀工艺最卡脖子的还是深孔深沟的刻蚀。市场上目前普遍使用的高深宽比刻蚀设备高深宽比大概是40:1到50:1,中微目前在实验室已经可以做出深宽比超过60:1的极高深宽比CCP介质刻蚀机,但设备的稳定重复使用还需要进一步努力提升。
中微公司主营业务：研发、组装集成电路设备、泛半导体设备和其他微观加工设备及环保设备,包括配套设备和零配件,销售自产产品。提供技术咨询、技术服务。[不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的,按照国家有关规定办理申请;依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。]
中微公司2021中报显示，公司主营收入13.39亿元，同比上升36.82%；归母净利润3.97亿元，同比上升233.17%；扣非净利润6161.52万元，同比上升53.35%；负债率9.89%，投资收益-1185.57万元，财务费用-688.49万元，毛利率42.34%。