来源 :上证e互动2024-04-08
天准科技(688003)尊敬的董秘，关于贵司投资设立的矽行半导体，明场检测设备目前的技术水平处于什么位置？预计什么时候能够量产？
您好，感谢对公司的关注。矽行半导体有限公司所研发的面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备在2023年8月交付客户，目前公司进一步的研发工作进展顺利，今年会有更多的设备交付客户。