天准科技申请多自由度调整台及曝光设备专利，专利技术能实现空间占用小，调整精准且气吸定位快速

　　2024年1月17日消息，据国家知识产权局公告，苏州天准科技股份有限公司申请一项名为“一种多自由度调整台及曝光设备“，公开号CN117406560A，申请日期为2023年11月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种多自由度调整台及曝光设备，属于姿态调整领域，多自由度调整台包括整定底板、夹紧机构、调整弹性机构、多自由度调整机构、平台载板；夹紧机构对调整好的调整弹性机构进行推夹定位；多自由度调整机构采用球面调整机构；顶升机构设置在平台载板的下方，用于平台载板在高度方向的升降调整；平面内调整模组用于多自由度调整台在水平面内的X向、Y向和绕Z轴旋转的三自由度调节；本申请的多自由度调整台对水平调整具有空间占用小，调整精准且气吸定位快速等特点，可拓展的集成调高和面内调整，便于在需要姿态调整领域如硅片、电池片镀铜图形化领域中的推广应用。