天准科技(688003.SH)：面向28nm技术节点的明场检测设备，目前正在研发中

　　格隆汇9月18日丨天准科技(688003.SH)在投资者互动平台表示，天准科技参股的苏州矽行半导体的面向28nm技术节点的明场检测设备，目前正在研发中。