来源 :上证e互动2023-09-12
天准科技(688003)公司之前回复Muetec正在积极推进overlay产品的研发，overlay在芯片制造工艺中是非常重要的一环，可否介绍一下overlay在芯片制造中的作用以及您家设备在此领域的发展现状？
您好，感谢对公司的关注。套刻（Overlay）误差量测设备主要用于量测半导体制造工艺中前后叠层之间对准的套刻误差，MueTec的套刻（Overlay）误差量测设备可覆盖65-90nm工艺节点，目前公司苏州团队和MueTec团队正在合作开发更先进制程的套刻误差量测设备。