来源 :上证e互动2023-09-06
天准科技(688003)28nm的明场缺陷检测设备国内是否有其他厂商目前已经有能力生产交付？谢谢。
您好，感谢对公司的关注。近日，天准科技参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用，28nm节点检测设备正在研发中。