来源 :上证e互动2023-08-09
天准科技(688003)上海微电子正致力于研发28纳米浸没式光刻机，预计在2023年年底向市场交付国产的第一台SSA/800-10W光刻机设备。作为国产替代，公司的半导体检测设备年底28纳米可以出货吗？
您好，感谢对公司的的关注。公司半导体设备工作进展顺利，近日，天准参股公司苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户，28nm节点检测设备正在研发中。