来源 :上证e互动2023-07-11
天准科技(688003)子公司Muetec的检测设备目前最先进的半导体检测多少纳米？还有公司研发的28纳米检测设备是国内团队研发还是德国团队研发？进度怎样？
您好，感谢对公司的关注。MueTec的半导体量测设备可以覆盖65-90nm节点，苏州天准正和德国团队联合研发制程更先进的设备，目前进展顺利，具体情况请关注公司公告。