来源 :上证e互动2023-05-29
天准科技(688003)日本对euv掩膜版设备进行了限制，MueTec的掩膜版检测设备能否进行国产替代
您好，感谢对公司的关注。Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺，目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。