天准科技：Muetec掩膜检测设备已可覆盖65-90nm工艺，目前尚未达到EUV掩膜检测设备精度

　　天准科技5月29日在互动平台表示，Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺，目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。