来源 :格隆汇2023-05-22
有投资者向天准科技(688003)(688003.SH)提问：MueTec的Overlay设备大概是怎样一个状况？
天准科技回复：套刻测量（Overlay Metrology）用于集成电路前道制程中，测量多层光刻工艺之间版图的对准情况，套刻测量是评价集成电路光刻工艺质量、监控光刻工艺良率的重要工具。目前MueTec子公司正在积极推进Overlay产品的升级研发。