天准科技：参股公司开发的图形晶圆缺陷检测设备目前已形成原型样机

　　天准科技5月10日在互动平台回答投资者提问时表示，公司参股的苏州矽行半导体有限公司，正在开发有图形晶圆缺陷检测设备，目前已经形成原型样机，进入内部测试阶段。