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睿创微纳(688002)内幕信息消息披露
 
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睿创微纳:非制冷红外探测器像元尺寸缩小的技术难点主要在“需要更小特征线宽工艺平台的支持”等

http://www.chaguwang.cn  2021-10-18  睿创微纳内幕信息

来源 :上证e互动2021-10-18

  睿创微纳(688002)董秘您好!红外探测器的像元尺寸近10年从50μm一直迭代到了8μm,公司目前的8μm处于全球领先水平。请问红外探测器像元尺寸往更小制程迭代的技术和工艺难点体现在哪些方面?感谢董秘!

  您好!非制冷红外探测器像元尺寸缩小的技术难点主要在:需要更小特征线宽工艺平台的支持;还需要针对小像元进行材料、像元结构等多项关键技术开发。感谢您的关注!

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