来源 :上证e互动2022-04-14
格林达(603931)一种芯片集成电路四甲基氢氧化铵显影液用非离子表面活性剂的提纯方法及其显影液,公司的这个发明专利2021-06-15已经实质审查的生效，请问所制备的显影液可以用于多少纳米的集成电路的生产？
尊敬的投资者你好，该专利中主要涉及的技术点为芯片集成电路中光刻工艺中应用四甲基氢氧化铵显影液在添加非离子表面活性剂的相关技术研究，具体应用由集成电路下游客户决定，谢谢。