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洪田股份(603800)内幕信息消息披露
 
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洪田股份:TGV玻璃基板光刻机具备批量生产能力,精度达6μm及以下

http://www.chaguwang.cn  2026-05-28  洪田股份内幕信息

来源 :上证e互动2026-05-28

  洪田股份(603800)请教尊敬的董秘,公司的直写光刻机,主要应用场景是小批量制作吗?应用于玻璃半导体基板的批量生产吗?精度目前达到多少?能否快速放量?!在国内市场处于什么地位?感激您的回复!谢谢 您好,感谢您的关注与支持!公司控股孙公司洪镭光学已推出多款微纳直写光刻设备,聚焦PCBHDI/FPC高阶线路板、半导体玻璃基板(TGV)、先进封装掩模版等应用领域,相关指标可满足客户量产要求。其中,公司TGV玻璃基板光刻机具备批量生产能力,具备6μm及以下的光学解析能力,并已完成交付,随着PCB、先进封装、光电通信等领域技术路径的迭代升级,设备需求有望持续放量。在国内直写光刻领域,公司正加速前行,始终致力于高端装备领域的国产替代。谢谢!

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