来源 :新浪财经2026-05-23
来源：新浪证券-红岸工作室
5月23日消息，国家知识产权局信息显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司、至微半导体（上海）有限公司申请一项名为“一种基于IPA的置换干燥方法及装置”的专利，授权公告号CN117329805B，授权公告日为2026年5月22日。申请公布号为CN117329805A，申请号为CN202311322687.6，申请公布日期为2026年5月22日，申请日期为2023年10月12日，发明人吕芳毅、刘传龙、李盼盼、刘大威、廖世保，专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司，专利代理师史翠，分类号F26B11/18、F26B5/16、F26B21/40、F26B25/00、F26B25/02、F26B25/18。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于IPA的置换干燥方法及装置，应用于半导体制备领域，该方法包括：载有若干晶圆的晶圆盒置于干燥槽体的承载部件，摆动部件带动承载部件沿晶圆排列方向进行周期性摆动；其中，周期性摆动包括：以第一摆动角度进行第一阶段周期摆动，通过高辐摆动调整晶圆和晶圆盒卡槽位置关系；以第二摆动角度进行第二阶段周期摆动，通过低辐摆动定位晶圆以干燥晶圆；第一摆动角度大于第二摆动角度。本发明通过设置摆动部件，同时利用摆动部件带动晶圆沿排列方向进行大摆幅的周期性摆动，以调整晶圆与晶圆盒的位置关系，并结合小摆幅的周期性摆动，使晶圆位置锁定，并完成对晶圆的干燥过程。
至纯科技成立于2000年11月13日，于2017年1月13日在上海证券交易所上市，注册地和办公地均为上海市。该公司是国内领先的半导体设备与工艺支持服务提供商，具备全产业链服务能力，投资价值凸显。
至纯科技所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，涉及半导体设备、高带宽存储器HBM、半导体设备概念等概念板块。其主营业务包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。
2025年，至纯科技实现营业收入28.55亿元，在25家行业公司中排名第10，与行业第一名北方华创的393.53亿元、第二名中微公司的123.85亿元差距较大，不过高于行业平均数41.44亿元和中位数14.26亿元。其主营业务构成中，系统集成收入22.93亿元，占比80.34%；设备业务收入2.86亿元，占比10.01%；电子材料收入2.69亿元，占比9.42%；其他（补充）663.52万元，占比0.23%。净利润方面，2025年至纯科技亏损7.71亿元，在行业中排名垫底，而行业第一名北方华创净利润为54.09亿元，第二名中微公司为20.64亿元，行业平均数为6.09亿元，中位数为1.77亿元。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司近期专利情况如下：
天眼查数据显示，至微半导体（上海）有限公司成立日期2017年10月26日，法定代表人蒋渊，所属行业为批发业，企业规模为大型，注册资本53144万人民币，实缴资本52780万人民币，注册地址为上海市闵行区紫海路170号1幢3层03室。至微半导体（上海）有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目36次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息318条，拥有行政许可2个。
至微半导体（上海）有限公司近期专利情况如下：
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