来源 :格隆汇2023-07-14
7月14日丨至纯科技(603690.SH)近期在接待机构投资者调研时表示，公司湿法设备聚焦芯片制造的前道工艺，高端产品包括SPM高温硫酸、去胶、晶背清洗等清洗设备。其中单片SPM工艺应用贯穿整个先进半导体的前、中段工艺，是所有湿法工艺中应用最多的一种设备，SPM工艺被公认是性能要求最高的工艺，也是最具挑战的湿法工艺设备。在至纯科技的单片SPM获得突破之前，所有的单片SPM设备全部由国外厂商所垄断。公司在核心工序段的高阶设备累计订单量近20台。