至纯科技拟在上海投建半导体电子化学品、电子特气研发及产业化项目

　　据“PNC至纯科技”消息，5月16日，至纯科技与上海化工区签署投资意向协议。至纯科技拟在上海电子化学品专区投资建设半导体电子化学品、电子特气研发及产业化项目。

　　据了解，2020年底，上海化工区正式启动了“上海电子化学品专区”建设，围绕光刻胶及配套材料、电子特气、湿电子化学品及CMP抛光材料等集成电路相关产品，全力打造电子化学品研发试验基地、生产基地以及物流存储基地。

　　至纯科技董事长兼总经理蒋渊表示，电子化学品对半导体制造意义重大，尤其是先进制程，包括逻辑芯片和存储芯片。未来，至纯科技将继续深耕集成电路产业，围绕“工艺—设备—材料”提供三位一体服务，对标国际顶尖企业打造中国品牌。

　　资料显示，至纯科技成立于2000年，主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备的研发、生产、销售及技术服务。其中，高纯工艺系统业务包括为电子、生物医药及食品饮料等行业的先进制造业企业提供高纯工艺系统的整体解决方案，以及进行高纯气体供应设备和高纯化学品输送设备的销售。半导体清洗装备产品主要包括湿法槽式清洗设备和湿法单片式清洗设备，广泛应用于集成电路、平板显示等领域。

　　此前至纯科技公布2023年第一季报，公司主营收入7.84亿元，同比上升43.16%；归母净利润6267.97万元，同比上升186.28%；扣非净利润5766.46万元，同比上升48.96%。