来源 :科创板日报2023-02-09
至纯科技披露调研纪要显示，炉管设备、涂胶显影设备属于公司扩展的半导体设备品类，在2022年已有订单。炉管设备进展快，已经量产并交付8寸设备，2023年会在1~2个客户验证12寸设备。涂胶显影设备2023年主要目标是开始批量交付8寸设备。此外，公司基本上覆盖了第一梯队、第二梯队的逻辑芯片客户。存储芯片客户占比相对还小，但已经看到上升趋势。