来源 :上证e互动2022-12-15
至纯科技(603690)公司是否掌握了超临界二氧化碳干燥技术？
您好，公司暂时没有此项技术，公司一直关注清洗领域各个技术路线的发展情况及各种干燥技术。公司将持续投入资源开发符合进一步发展所需的工艺设备。目前公司主要为集成电路行业下游客户提供制程设备、集成系统服务与支持设备、电子材料及部分零部件等，公司湿法制程设备已覆盖28纳米各工序段、14纳米及以下部分工序段。