至纯科技：拟定增募资不超过18亿元，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目

　　至纯科技：拟定增募资不超过18亿元，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目，至纯北方半导体研发生产中心项目，启东半导体装备产业化基地二期项目，补充流动资金或偿还债务。